激光干涉儀的特點(diǎn)及工作原理

更新時(shí)間：2021-03-02

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　　一、激光干涉儀的特點(diǎn)：

　　1、是以光波為載體，以光波波長(zhǎng)為單位的一種計(jì)量測(cè)試方法，是*的高精度、高靈敏度的檢測(cè)手段，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

　　2、產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線(xiàn)度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。

　　3、在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有*的精度和效率，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

　　二、激光干涉儀的原理：

　　1、激光器發(fā)射單一頻率光束射入線(xiàn)性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測(cè)量光束）則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡。

　　2、這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。若光程差沒(méi)有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。

　　3、若光程差有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí)，在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào)，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化。

　　總結(jié)：激光干涉儀的特點(diǎn)及工作原理。看完本文您就應(yīng)該有了基本的認(rèn)識(shí)和了解相信大家都明白了吧！總的來(lái)說(shuō)，希望對(duì)大家有所幫助。